蘇州安拓防爆電氣工程有限公司

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中國澳門半自動片盒清洗機按需定制

發布時間:2024-11-08 20:38:28   來源:蘇州安拓防爆電氣工程有限公司   閱覽次數:7733次   

晶圓盒清洗機包括

FoupCleaner;

Xtrim-FC-M300/400高速型;

FouPCleaner;

Xtrim-FC-H300水平機

AutoFOUP/FOSBCleaningSystem

全自動FOUP/FOSB清洗機Xtrim-FC-A300

Xtrim-FC-M300Introduction:

產品介紹:

Over25yearsofexperienceincleaningequipmentbusiness;

在清洗機行業超25年經驗;

ProfessionalserviceandsupportteamsinShanghaiandSuzhou;

在上海,蘇州有完善的服務和銷售團隊

Designed,manufacturedandservicedbox/-FOUP/FOSB/MASKPODcleaners;

自主研發設計、生產、服務、可用于片盒、FOUP、光罩盒清洗;

SEMI S2認證;

選擇我司設備,讓你的生產更加節能、環保!中國澳門半自動片盒清洗機按需定制

中國澳門半自動片盒清洗機按需定制,清洗機

Foup清洗機是用于半導體生產中的關鍵設備,用于清洗和處理晶圓載具(Foup)。我們的Foup清洗機采用先進的智能化設計,結構緊湊,占用空間小,適合各種生產場景。其外觀精美,質感上乘,提升了生產品質,同時采用品質材料,使用壽命長,是您的長久伙伴。我們的產品可以個性化定制。具有多種智能功能,助您輕松應對生產挑戰。操作簡單,維護方便,降低您的使用成本。具有高精度功能,確保生產體驗。采用先進的自動化控制技術,提升使用效率。選擇我們的Foup清洗機,讓您的晶圓生產更加智能化、自動化甘肅晶圓盒清洗機廠家報價我司設備結構穩固,性能可靠,是你的生產好幫手!

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5大系統結構:

純水加熱PWH、高壓噴淋HPS、熱風烘干HAD、快速甩干HSD、CDA/N2吹掃。

25組清洗:

工藝配方ProcessFormula,不同的Cassette靈活設定。

EN18822-H14:

高等級空氣過濾系統;超純水0.1um過濾,CDA0.03um過濾。

4寸~12寸全尺寸兼容,快速實現干進干出,30~60分鐘完成1次清洗工藝節拍,更大吞吐量。

2倉2基地:

蘇州+上海快速響應備件及現場技術服務壽命管理lifecycleManagement配備RFID數據讀取和上傳功能+SECSGEM200通訊系統,方便客戶的數據管理Cassette使用情況

FOUP清洗設備在半導體制造中起著重要的作用,可以提供高質量的晶圓潔凈度,確保半導體制造過程的可靠性和穩定性。

使用FOUP清洗設備的過程通常包括以下步驟:FOUP加載:將待清洗的FOUP放置到清洗設備的托盤或夾具上。清洗預處理:在清洗艙中對FOUP進行預處理,例如使用噴淋裝置和超聲波清洗器清洗表面的污染物。水洗:使用清潔的水源對FOUP進行徹底的水洗,以去除清洗劑和殘留的污染物。干燥:通過噴氣裝置或其他干燥方法將FOUP表面的水分蒸發,確保FOUP完全干燥。卸載:將清洗干凈的FOUP從清洗設備中取出,準備進行后續的半導體制造工藝。我司設備具有高精度特點,確保生產質量!

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全自動晶圓盒清洗機(Fully Automated FOUP Cleaner)[1]:適用場景:用DIW/有機溶劑(可選)實現FOUP清潔,通過高速旋轉/紅外燈管/CDA等多種技術實現FOUP干燥。設備特點:清洗對象:6/8/12半自動FOUP/Cassette/POD。設備主要構成:旋轉鼠籠(便捷式可180°旋轉后固定結構)、DIW噴淋系統、紅外加熱干燥系統、有機溶劑清洗系統(可選)等機構組成。清洗能力:8只FOUP/小時(依配置的清洗腔真空腔數量而定)。干進干出。人工分離FOUP、POD,人工上下料及更換工裝。旋轉式離心清洗,可正反調速旋轉,對于產品表面的附著殘留物容易去除。工裝設有防呆機構,防止人工將清洗件放置錯誤。鼠籠設有旋轉到位防呆檢測。動平衡偵測轉籃未定位保護,降低因人為導致設備損壞。主軸以伺服馬達控制達到穩定加減速及轉速數值化設定控制,主軸震動值可監測。可預設多條Recipe,操作簡潔。選配SECS/GEM接口。可實現工件數據追溯,具有過點信息、狀態監控、故障匯總、訂單下發等功能。芯夢設備具有靈活的生產模式,滿足你的個性化需求!甘肅全自動晶圓盒清洗機聯系方式

江蘇芯夢設備操作界面友好,易學易用,提升生產效率!中國澳門半自動片盒清洗機按需定制

提供各種半導體片盒、FOUP、FOSB清潔方案客戶定制清洗方案做到360度無死角清洗,并防止細菌滋生專項研發雙流體旋轉噴射清洗方式,實現超微精密清洗,節能設計;高效干燥技術,AMC化合物去除技術全生產過程實時監控,兼容自動傳輸系統(AMHS);SEMI通訊標準兼容GEM300,符合SEMIS2、S8標準高產量,占地面積設計。

我們的晶圓盒清洗機采用先進的自動化控制技術,能夠自動完成清洗和干燥的過程,無需人工干預。具有高效的清洗和干燥功能,確保晶圓盒表面干凈無塵、干燥無水痕。同時,我們的晶圓盒清洗機具有多種智能功能,能夠自動識別晶圓盒類型,自動調整清洗和干燥的參數,保證清洗和干燥的效果穩定可靠。操作簡單,維護方便,降低使用成本。選擇我們的晶圓盒清洗機,讓您的晶圓生產更加智能化、自動化!中國澳門半自動片盒清洗機按需定制

芯夢擁有近12000平米的研發生產基地,包括超過3000平米的千級潔凈室和萬級裝配車間,配備有精密的研發檢測儀器設備。芯夢的創始團隊成員均為半導體裝備領域從業數十年的專業人才,目前芯夢已經建立了一支多學科交叉、實力雄厚的技術研發團隊,目前公司擁有員工總數290余人,其中技術研發人員90余人,售后服務人員近40人。我們高度重視知識產權保護,主營產品已獲得數十項授權專利,包括近20件授權發明專利,并通過了知識產權管理體系認證。

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